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在很多的半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)中都會(huì)用到超純水處理設(shè)備，主要是作為生產(chǎn)的用水，該設(shè)備的產(chǎn)水電阻率達(dá)到了15兆歐以上。
超純水處理設(shè)備在凈水的過(guò)程中會(huì)用到樹(shù)脂，但樹(shù)脂很容易被污染使其失去了凈化的能力。在堿性的環(huán)境下無(wú)機(jī)物很容易形成氫氧化物的絮狀沉淀，或者是水中硅的含量較高時(shí)都會(huì)造成樹(shù)脂孔道的堵塞，影響了樹(shù)脂的交換能力。有些時(shí)候水中還會(huì)含有大量的重金屬離子，它會(huì)使樹(shù)脂的結(jié)構(gòu)發(fā)生改變，影響了樹(shù)脂的凈化能力，所以在原水進(jìn)入到超純水處理設(shè)備前進(jìn)行預(yù)處理是非常有必要的。
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